
產(chǎn)品分類
更新時間:2025-11-26
瀏覽次數(shù):74TG50F
任何方向
緊湊尺寸
節(jié)能
快速啟動
用燃氣排氣快速關(guān)閉
用于沖擊氣流的堅固結(jié)構(gòu)
串行通信
※RS232C 串行接口

應(yīng)用
半導(dǎo)體生產(chǎn)
電子槍排氣,電離源排氣
FPD制造
表面處理,表面改性
各種電子元件的制造
分析與測試設(shè)備
燈具生產(chǎn),光學(xué)元件生產(chǎn)
加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究
熱處理
研究與開發(fā)
*如果排放腐蝕性氣體,請選擇我們的化學(xué)用途TG-M系列或TG系列。
| 型 | TG50F | |
| 進氣法蘭 | VG65/ISO-R63/CF63 | |
| 流量 | N2(L/s) | 51 |
| N2(帶防護 屏障)(L/s) | 49 | |
| H2(L/s) | 12 | |
| 壓縮比 | N2 | 1.4×107 |
| H2 | 5×102 | |
| 基壓 | VG?ISO-R/CF(賓夕法尼亞州) | <3×10-6 |
| VG?ISO-R/CF(托爾) | <2.3×10-8 | |
| 吞吐量※1 | N2(SCCM) | 80 |
| 啟動時間 | (分鐘) | 1-1.5 |
| 停工時間 | (分鐘) | 1-1.5 |
| 背壓 | (帕/托爾) | 1330/10 |
| 推薦的倒吸真空泵 | (L/min) | ≧50 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
| 控制器 | TC64 | |
*1:使用100升/分鐘的備份真空泵時。
[環(huán)境溫度使用]
確保達到最終壓力的環(huán)境溫度范圍為10-23°C。允許的環(huán)境溫度為空氣冷卻類型為10-32°C,水冷類型為10-40°C。確保最終壓力的冷卻水溫度為30°C,冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。
[對應(yīng)氣體]
一些服務(wù)氣體會腐蝕潤滑脂和內(nèi)部部件。請聯(lián)系大阪真空,獲取適用的燃氣類型列表。
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